Piezoresistivni tlačni senzorjitemeljijo predvsem na piezoresističnem učinku. Piezoresistivni učinek se uporablja za opis spremembe odpornosti materiala pod mehanskim stresom. Če pa piezoelektrični učinek, piezorezistivni učinek le povzroči spremembo impedance, ne pa električnega naboja.
Piezoresistivni učinki so bili najdeni v večini kovinskih in polprevodniških materialov. Če jih piezoresistinski učinek v polprevodniških materialih veliko večji kot pri kovinah. Ker je silicij, ki je bila v celoti, ki jih je v celoti, ki jih je treba smiselno. deformation, but also from the stress-related resistance of the material itself, which makes its degree factor hundreds of times larger than that of metals.The resistance change of N-type silicon is mainly due to the redistribution of carriers between the conduction band valleys of different mobilities caused by the displacement of its three conduction band valley pairs, which in turn changes the mobility of electrons in different flow directions.The second is due to the change V enakovredni masi iz spremembe oblike prevodne pasove doline. V siliciju tipa P postane ta pojav bolj zapleten in vodi tudi do enakovredne spremembe mase in pretvorbe lukenj.
Piezoresistivni tlačni senzorji so na splošno povezani s pšeničnim mostom skozi vodi. Ko je senzor pod pritiskom, se upor čipa spremeni in most izgubi ravnotežje. Če se na most doda konstanten tok ali napetostni napajalnik, bo most oddajal napetostni signal, ki ustreza tlaku, tako da se uporna sprememba senzorja pretvori v izhod tlaka skozi most. Most se prekriva v trenutni signal. Nadomeščen z nelinearno korekcijsko zanko, to je standardni izhodni signal 4-20 mA z vhodno napetostjo, ki ima linearno ustrezno razmerje.
Da bi zmanjšali vpliv temperaturne spremembe na vrednost odpornosti jedra in izboljšali natančnost merjenja, tlačni senzor sprejema temperaturne kompenzacijske ukrepe za vzdrževanje visoke ravni tehničnih kazalnikov, kot so ničelni premik, občutljivost, linearnost in stabilnost.
Čas objave: APR-03-2022