Tlačni senzor je nekakšen tlačni senzor, ki ga lahko uporabimo v jeklenih, kemičnih in drugih poljih za merjenje tlaka in lahko uresničimo samodejni nadzor tlaka, če se uporablja skupaj z regulatorjem tlaka.
Difuzijski senzor tlaka silicijevega tlaka /uvod v načelo
Difuzijski silicijev tlačni senzor temelji na načelu piezoresističnega učinka z uporabo integrirane procesne tehnologije z dopingom in difuzijo, vzdolž značilne kristalne smeri na enojnem kristalnem silicijevem rezini, da tvori odpornost na sev, da tvori most iz pšenice, ki se izvajajo elastični mehanski materiali, anisotropna mikromahining, anisotropna mikromahining, anisotropna mikromahining, mikromahining mikromahiniranja. Izdelana je integracija zaznavanja sile in sile-električne pretvorbe.
Tlak razpršenega silicijevega tlačnega senzorja deluje neposredno na diafragmo senzorja (nerjavečega jekla ali keramike), zaradi česar je diafragma proizvedela mikro preliv, ki je sorazmerna s tlakom medija, in vrednost upornosti senzorja spreminja. Elektronsko vezje zazna to spremembo in jo pretvori. Izhod je standardni merilni signal, ki ustreza temu tlaku.
Značilnosti difuzijskega silicijevega tlaka
1. Primerno za izdelavo majhnih oddajnikov
Piezoresistivni učinek upornega upora silicijevega čipa, ki je občutljiv na silo, nima mrtvega območja v nizkem območju blizu ničelne točke, obseg tlačnega senzorja pa je lahko majhen kot več KPA.
2. Visoka občutljivost izhoda
Faktor občutljivosti odpornosti na silikonsko sevo je od 50 do 100 -krat višji kot pri merilniku kovinskega seva, zato je občutljivost ustreznega senzorja zelo visoka, izhod splošnega območja pa približno 100mV. Zato ni posebnih zahtev za vmesnik in je bolj priročno za uporabo.
3. Visoka natančnost
Ker zaznavanje, občutljivo pretvorbo in zaznavanje senzorja realiziramo po isti komponenti, ni vmesne pretvorbene povezave, napake ponovljivosti in histereze pa so majhne. Ker ima monokristalni silicij sam visoko togost in majhno deformacijo, je zagotovljena dobra linearnost.
4. Ker je uniseksualna deformacija dela tako nizka, kot je vrstni red mikro-semena, je največji premik elastičnega čipa v vrstnem redu pod-mikrona, tako da ni obrabe, utrujenosti, staranja in življenjskega razpona je dolga 1 × 107 tlačnega cikla, s stabilno zmogljivostjo in visoko zanesljivostjo.
5. Zaradi odlične kemične korozijske odpornosti silicija se lahko celo neizolirani difunirani silicijevi tlačni senzorji v veliki meri prilagodijo različnim medijem.
6. Ker čip sprejema integriran postopek in nima komponent prenosa, je majhna in svetloba.
Difuzijski previdnostni ukrepi silicijevega tlaka za uporabo
1. Ko je izbran prekomerni ali premalo območja, je treba amplitudo nadzorovati znotraj ± 30%Fs.
2. Način tlaka je razdeljen na merilni tlak, absolutni tlak in tesnilni tlak, ki ga je mogoče izbrati razumno glede na potrebe.
3.Podložite največjo preobremenitev sistema. Največja preobremenitev sistema bi morala biti manjša od meje zaščite pred preobremenitvijo senzorja, sicer bo vplivala na življenjsko dobo izdelka in celo poškodovati izdelek.
4. Ne dotikajte se membrane s trdimi predmeti, sicer bo povzročila, da se bo diafragma porušila.
5. Material in proces proizvodnje jedra negativnega tlaka nista enaka pozitivnemu tlaku, zato jedra negativnega tlaka ni mogoče nadomestiti z jedro tlaka.
6. Pred namestitvijo natančno preverite priročnik za navodila, da se izognete poškodbam izdelka, ki jo povzroči napačna namestitev.
7.Proper uporaba lahko privede do nevarnosti in telesnih poškodb.
8. Jedro je izvlečeno iz ohišja in prepovedano je vleči žice in noge cevi.
Difuzijska uporaba silicijevega tlaka
Difuzijski silicijevi tlačni senzorji se uporabljajo predvsem v sistemih za nadzor procesov, instrumentom kalibracije tlaka, hidravlični sistemi, biomedicinski instrumenti, hidravlični sistemi in ventili, merjenjem tekočine, hladilni opremi in kontrolni industriji HVAC. Lahko rečemo, da lahko vse panoge z zahtevami visoke avtomatizacije uporabljajo razpršene senzorje tlaka silicija.
Čas objave: avgust-15-2022