Kapacitivni tlačni senzor

KapacitivnoSenzor tlakais a pressure sensor that uses capacitance as a sensitive element to convert the measured pressure into a change in capacitance value.This kind of pressure sensor generally uses a circular metal film or a metal-plated film as an electrode of the capacitor.When the film is deformed by pressure, the capacitance formed between the film and the fixed electrode changes, and an electrical signal that has a certain relationship with the voltage can be output through the measuring vezje.Papaciktivni tlačni senzorji spadajo v kapacitivne senzorje polarne razdalje, ki jih lahko razdelimo na enojne kapacitivne tlačne senzorje in diferencialne kapacitivne tlačne senzorje.

The single capacitive pressure sensor consists of a circular membrane and a fixed electrode.The film deforms under pressure, thereby changing the capacity of the capacitor,The sensitivity is roughly proportional to the area and pressure of the membrane and inversely proportional to the tension of the membrane and the distance from the membrane to the fixed electrode.Another type of fixed electrode takes the shape of a concave spherical površina in diafragma je napenjalna ravnina, pritrjena okoli periferije. Ta vrsta je primerna za merjenje nizkega tlaka in ima visoko preobremenjeno zmogljivost. Senzor tlaka z eno kapacimo za merjenje visokega tlaka je lahko tudi iz diafragme z batom premikajočico. Ta vrsta lahko zmanjša tlačno območje diafragme. Prav tako je v celoti zapakiran z različnimi kompenzacijskimi in zaščitnimi odseki ter ojačevalnimi vezji za izboljšanje zmogljivosti za boj proti zaustavitvi. Ta senzor je primeren za merjenje dinamičnega visokega tlaka in za telemetrijo zrakoplovov. Obstajajo tudi vrste enojnih kapacitivnih tlačnih senzorjev, kot so mikrofon (tj. Tip mikrofona) in tipa stetoskopa.

Elektroda diferencialnega kapacitivnega tlačnega senzorja diferencialnega kapacitivnega tlaka je nameščena med dvema fiksnima elektrodama, ki tvorita dva kondenzatorja. Zmogljivost tlaka, zmogljivost enega kondenzatorja se poveča, drugi pa se ustrezno zmanjša, rezultat merjenja pa se oddaja z diferencialnim vezjem. Diafragma je zaščitena pred rupturo s konkavno površino, ko je preobremenjena. Diferencialni kapacitivni tlačni senzor ima večjo občutljivost in boljšo linearnost kot enkratni kapacitivni tlačni senzor, vendar je težje obdelati (še posebej težko je zagotoviti simetrijo) in ne more doseči izolacije plina ali tekočine, zato ni primerno delo v korozivnem okolju. seks ali nečistoče v tekočini.